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真空無氧烤箱，無氧化真空烘箱 工業(yè)烘箱

真空無氧烤箱，無氧化真空烘箱用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI/CPI固化，BPO固化，LCP纖維熱處理，

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  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2025-09-17
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產品詳情

真空無氧烤箱，無氧化真空烘箱

真空無氧烘箱用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI/CPI固化，BPO固化，LCP纖維熱處理，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導體、MEMS微機電、TFT/LCD等半導體相關行業(yè)。


兼容性：2寸-12寸/碎片兼容。

低氧濃度：可達20PPM氧氣下實現真空固化。

能耗低，真空狀態(tài)固化，節(jié)約了80%N?量。

無污染，腔體內部所有材料均為316L醫(yī)用級不銹鋼，無任何顆粒產生。


真空無氧烤箱，無氧化真空烘箱

溫度：RT-400/500度

真空度：小于1torr

操作：真彩人機界面，一鍵運行

冷卻方式：水冷卻+風冷

氣路：2路N2

程序模式：程序運行10個，每個程序可設置25步

隔熱材料：陶瓷纖維

工作腔：40-800L可選

工藝要求：

  1. 降低腔體氧濃度

  2. 真空后升溫，線性升溫至1xx℃，保溫一定時間

  3. 再線性升溫至1xx℃,保溫約 60min;

  4. 繼續(xù)升溫至x00℃，視涂層厚度不同加熱10-x0min

  5. 保溫約60min；

  6. 降溫至100℃以下

  7. 充氮氣回壓開門


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