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  • JS-HMDS90HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱
    HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理，從而改善光刻膠的附著力。
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    2025-09-17
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  • JS-MOL00HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機
    HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機使用HMDS（六甲基二硅氮烷）對晶圓表面進行快速、均勻、經濟高效的涂布，以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統還支持圖像反轉，形成具有與正光刻膠相同的分辨率和易用性的負圖像。
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  • JS-HMDS90光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱
    光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅，石英，太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。
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  • HMDS烘箱專用真空泵，HMDS系統無油泵
    HMDS烘箱專用真空泵，HMDS系統無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度，較大的抽速 - 停機時間短，維護成本更低
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  • HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱
    HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱是涂膠前對硅片表面進行處理，可以增加硅片表面水分子的接觸角，使襯底表面從親水性轉化為疏水性
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